Prodotti

Id-dar Prodotti Magna tal-illustrar Id-dettalji

Semi - magna tal-illustrar mekkaniku awtomatiku kimiku

Din is-sistema CMP flessibbli tagħti l-għoli - preċiżjoni, għolja - effiċjenza waħda - illustrar naħat għal uċuħ pjan paralleli fil-materjali kollha kompatibbli.

Ibgħat l-inkjesta

Il-funzjoni

Applikazzjoni

Is-semi - Magna tal-illustrar mekkaniku awtomatiku kimiku twettaq CMP waħdieni - fuq wejfers sub-200mm u materjali fraġli iebsa, inklużi: inklużi: inklużi:

Proċessi tas-semikondutturi: Si CMP, Ossidu CMP (BPSG, TEOS, THOX), CMP tal-metall (W, Cu), films dielettriċi, u applikazzjonijiet STI

Materjali speċjalizzati: karbur tas-silikon (sic), wejfers żaffir, wejfers tal-ġermanju, niobate tal-litju, u substrati tal-ħġieġ

Din is-sistema CMP flessibbli tagħti l-għoli - preċiżjoni, għolja - effiċjenza waħda - illustrar naħat għal uċuħ pjan paralleli fil-materjali kollha kompatibbli.

Semi - magna tal-illustrar mekkaniku awtomatiku kimiku

SAP200-S

Numru tal-Mudell		SAP200-S
Disk tal-illustrar	Dijametru	Φ510mm (20 '')
	Numru	1
	Veloċità tad-diska aktar baxxa	0-200rpm
Lustrar tar-ras	Proċessar ta 'biċċiet tax-xogħol	4 '' / 6 '' / 8inch
	Metodu ta 'pressjoni	Funzjoni ta 'pressjoni ta' wara flessibbli ta 'l-airbag (pressjoni ta' 3 żoni)
	veloċità	0-200rpm
	Numru	1
Indiċi ta 'preċiżjoni	It-tarf t'isfel jaqbeż	Inqas minn jew daqs 0.01mm
Indiċi ta 'preċiżjoni	Flatness tal-pjanċa t'isfel	Inqas minn jew daqs 0.008mm
Daqs tat-Tagħmir (L * W * H)		2150mm * 1100mm * 2150mm
Piż tal-Apparat		2000kg

It-tags Popolari: semi - magna tal-illustrar mekkaniku awtomatiku, iċ-Ċina semi - manifatturi tal-magna tal-illustrar mekkaniku awtomatiku, fornituri, fabbrika

Par ta ' l-:

Li jmiss:

Single - Magna tal-illustrar naħat

Tista 'Tħobb ukoll

Ibgħat l-inkjesta