Prodotti

Id-dar Prodotti Magna tal-illustrar Id-dettalji

Magna tal-illustrar kimiku mekkaniku awtomatiku

Il-magna tal-illustrar kimiku mekkaniku awtomatiku twettaq illustrar mekkaniku kimiku wieħed {}}}} fuq materjali fraġli iebsa inklużi sub-8-il pulzier Si CMP, ossidu CMP (BPSG, TEOS, THOS), metall CMP (W, Cu), films dielettriċi, u STI (iżolazzjoni ta 'l-iżola tal-baxx).

Ibgħat l-inkjesta

Il-funzjoni

Applikazzjoni

Il-magna tal-illustrar kimiku mekkaniku awtomatiku twettaq illustrar mekkaniku wieħed -} fuq materjali fraġli iebsin inklużi sub - 8 {- pulzier SI CMP, Oxide CMP (BPSG, TEOS, THOX), Metal CMP (W, Cu), films dielettriċi, u STI ( applikazzjonijiet. Din is-sistema CMP kompletament awtomatizzata tagħti wkoll preċiżjoni għolja -, illustrar b'livell għoli ta 'effiċjenza għolja għal uċuħ pjan paralleli ta' wejfers żaffir, wejfers tal-ġermanju, niobate tal-litju, u substrati tal-ħġieġ.

Magna tal-illustrar kimiku mekkaniku awtomatiku

SAP200-4H2P-FA

Numru tal-Mudell		SAP200 - 4H2P-FA
Disk tal-illustrar	Dijametru	Φ510mm (20 '')
	Numru	2
	Veloċità tad-diska aktar baxxa	0-200rpm
Lustrar tar-ras	Proċessar ta 'biċċiet tax-xogħol	6''/8''
	Metodu ta 'pressjoni	Funzjoni ta 'pressjoni ta' wara flessibbli ta 'l-airbag (pressjoni ta' 3 żoni)
	veloċità	0-200rpm
	Numru	4
Indiċi ta 'preċiżjoni	It-tarf t'isfel jaqbeż	Inqas minn jew daqs 0.01mm
Indiċi ta 'preċiżjoni	Flatness tal-pjanċa t'isfel	Inqas minn jew daqs 0.008mm
Daqs tat-Tagħmir (L * W * H)		3640mm × 2400 mm × 2600 mm
Piż tal-Apparat		10000kg